Si GaAs CdTe ZnSe酸化物結晶等 結晶内に存在する
転位、積層欠陥、 析出物、残留歪、ドーピングむらなど の
微小欠陥を光散乱トモグラフィ法と ＰＬ法により
高感度検出します。